在真空紫外光谱区—200nm以短波长区进行测量时，所用的辐射源与其它区域不同。常用氢（氘）灯（165nm以短），氙灯（150～200nm），氩弧灯（330～110nm），无窗氙弧灯（58～110nm）。所用探测器除了对短波敏感的光子探测器以外，还可以使用照相乳剂。
在单色仪的光路布置中，简单的是垂直入射装置。它应用了一块自聚焦的凹面光栅，无需辅助的光学器件。称为濑谷浪冈装置的光路使入身光束和出射光束在圆弧上保持固定的角度70°15′。在真空紫外区仅产生少量散焦。麦克沸生（McPherson）的光学系布置采用了不寻常的结构。在它的交叉光学系统中采用了0.3m焦距的非球面反光镜，系统的有效孔径比为f/5.3。这一设计使它具有高通量而且焦距短。它既保持了垂直入射共焦点的特性，又有较宽的狭缝入射角。在波长105nm以下时，必须采用掠入射原理。光栅在罗兰圆上移动，出射狭缝在圆周上变动位置。入射角范围为82°～88°。
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